MICROWAVE PLASMA GENERATOR

摘要

Un générateur de plasma à micro-ondes pour produire un plasma axisymétrique comprend un appareil de guide d'ondes (20), des moyens pour introduire une source de micro-ondes dans l'appareil de guide d'ondes (21), et des moyens pour produire un champ circulaire de micro-ondes axisymétrique à partir de la source de micro-ondes (25). Des moyens sont prévus pour syntoniser le champ (23, 24, 14, 26) pour correspondre à l'impédance d'une charge de plasma. Sont égalements inclus une chambre à vide (13) pour contenir un gaz à ioniser pour former le plasma, des moyens d'introduction de ce gaz dans la chambre à vide (37), et des moyens pour coupler le champ de micro-ondes (29, 18, 30) à la chambre à vide (31) de manière à former le plasma.