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发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR BESCHICHTUNG EINES SUBSTRATS
摘要
申请公布号 DE3719616(A1) 申请公布日期 1988.12.29
申请号 DE19873719616 申请日期 1987.06.12
申请人 LEYBOLD AG 发明人 HUBERT,PETER;KUSSEL,BARBARA,DIPL.-PHYS.DR.;WIRZ,PETER,DIPL.-PHYS.DR.
分类号 C23C16/30;C23C16/02;C23C16/50;C23C16/52;G11B5/72;G11B5/84;H01J37/32;(IPC1-7):C23C14/12;C23C14/54;G11B5/85;H01F41/14 主分类号 C23C16/30
代理机构 代理人
主权项
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