| 发明名称 |
APPARATUS FOR OPTICALLY MEASURING THE DISTANCE BETWEEN TWO GRATING-LIKE STRUCTURES AND THE SIZE OF PERIODIC PATTERN ELEMENTS FORMING ONE OF THE GRATING-LIKE STRUCTURES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0104762(B1) |
申请公布日期 |
1988.12.28 |
| 申请号 |
EP19830304868 |
申请日期 |
1983.08.23 |
| 申请人 |
KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA |
发明人 |
IWAMOTO, AKITO;SEKIZAWA, HIDEKAZU |
| 分类号 |
G01B11/14;G01B11/02;(IPC1-7):G01B11/14 |
主分类号 |
G01B11/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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