一种离子轰击减薄装置

摘要

本实用新型公开了一种新的离子轰击减薄装置，它既可以选用氩离子束流轰击样品，又可以选用碘离子束流轰击样品，设在样品室两侧的碘蒸气升华腔为形成碘离子束提供碘蒸气流。利用这种装置能够制备更多种材料的薄膜样品，满足透射电子显微镜的观测需求。

主权项

1、一种供制备透射电子显微镜观测样品用的离子轰击减薄装置，其特征为，在所设样品室两侧各接一个气流选通阀，选通阀的一个气流选择通道连通样品室与设在两侧的氩气入口，它的另一选择通道连通样品室与设在两侧的碘蒸气升华腔。