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发明名称 METHOD OF APPLYING A RESIST
摘要
申请公布号 EP0205148(A3) 申请公布日期 1988.12.28
申请号 EP19860107872 申请日期 1986.06.10
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 ITO, TETSUO;TANUMA, MASAYA;NAKAGOMI, YOSHIYUKI;KADOTA, KAZUYA;KOBAYASHI, KAZUNARI
分类号 B05D7/00;B05D1/32;B05D1/40;B05D3/06;G03F7/16;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/302;(IPC1-7):G03F7/16 主分类号 B05D7/00
代理机构 代理人
主权项
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