Beam emitting system for particle beam apparatus.

摘要

Ein wesentliches Kriterium für die Beurteilung der Leistungsfähigkeit eines Korpuskularstrahlgerätes ist der auf der Probe zur Verfügung stehende Sondenstrom i, der über die Gleichung i = Konst. α² d² R von der Endapertur α, dem Sondendurchmesser d und dem Richtstrahlwert R der Teilchenquelle abhängt. Den maximalen Richtstrahlwert der Quelle kann man allerdings nur dann ausnutzen, wenn diese auf der optischen Achse des Korpuskularstrahlgerätes angeordnet ist. Mit den üblicherweise als Teilchenquellen eingesetzten Triodensystemen läßt sich dieser Idealzustand nur näherungsweise verwirklichen, da die Kathode im allgemeinen nicht auf der durch die Wehnelt-Elektrode und die Anode definierten Achse angeordnet werden kann. Es wird deshalb vorgeschlagen, die Kathode drehbar im Gehäuse des strahlerzeugenden Systems anzuordnen. Die Drehachse liegt hierbei vorzugsweise in einer annähernd senkrecht zur optischen Achse des Korpuskularstrahlgerätes orientierten Ebene oberhalb der Quelle.