A DRY ETCHING METHOD FOR A CHROMIUM OR CHROMIUM OXIDE FILM,申请号EP19850401676-传众专利搜索

发明名称	A DRY ETCHING METHOD FOR A CHROMIUM OR CHROMIUM OXIDE FILM
摘要
申请公布号	EP0174249(B1)	申请公布日期	1988.12.28
申请号	EP19850401676	申请日期	1985.08.23
申请人	FUJITSU LIMITED	发明人	HOSHINO, EIICHI
分类号	H01L21/302;C23F4/00;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/3213;(IPC1-7):C23F1/12	主分类号	H01L21/302
代理机构		代理人
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