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发明名称 HIGH FREQUENCY INDUCTION COUPLED PLASMA TORCH
摘要
申请公布号 EP0103809(B1) 申请公布日期 1988.12.28
申请号 EP19830108781 申请日期 1983.09.06
申请人 SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES LIMITED 发明人 TANAKA, GOTARO C/O YOKOHAMA WORKS OF SUMITOMO;FUJIWARA, KUNIO C/O YOKOHAMA WORKS OF SUMITOMO;MIYAJIRI, TETSUO C/O YOKOHAMA WORKS OF SUMITOMO
分类号 F23D14/52;C09K3/16;H05H1/30;(IPC1-7):H05H1/18 主分类号 F23D14/52
代理机构 代理人
主权项
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