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发明名称
APPARATUS FOR PHOTOMASK REPAIR
摘要
申请公布号
EP0193673(A3)
申请公布日期
1988.12.28
申请号
EP19850306643
申请日期
1985.09.18
申请人
GOULD INC.
发明人
YOUNG, PETER;OPRYSKO, MODEST M.;BERANEK, MARK W.
分类号
B23K26/12;G03F1/00;H01L21/027;(IPC1-7):G03F1/00;G03B41/00
主分类号
B23K26/12
代理机构
代理人
主权项
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