| 发明名称 |
MANUFACTURE OF THIN FILM ACTIVE ELEMENT ARRAY |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS63316084(A) |
申请公布日期 |
1988.12.23 |
| 申请号 |
JP19870151107 |
申请日期 |
1987.06.19 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
SASANO AKIRA;TSUKADA TOSHIHISA;ORITSUKI RYOJI;WAKUI MASATERU;SUZUKI HIROSHI |
| 分类号 |
G09F9/00;G02F1/1343;G02F1/136;G02F1/1368;G09F9/30;H01L27/12;H01L29/78;H01L29/786 |
主分类号 |
G09F9/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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