| 发明名称 |
PLATEAU D'ATTAQUE RADIOFREQUENCE, NOTAMMENT POUR L'ATTAQUE PAR PULVERISATION CATHODIQUE DE TRANCHES SEMI-CONDUCTRICES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2516308(B1) |
申请公布日期 |
1988.12.23 |
| 申请号 |
FR19820018996 |
申请日期 |
1982.11.12 |
| 申请人 |
VARIAN ASSOCIATES |
发明人 |
DAVID JAMES HARRA ET FREDERICK THOMAS TURNER;TURNER FREDERICK THOMAS |
| 分类号 |
H01L21/302;C23F4/00;H01J37/32;H01J37/34;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/30;H01L21/72;C23C15/00 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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