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发明名称
IRIS APPARATUS FOR GENERATING A NUMBER OF PARTICLE SONDES
摘要
申请公布号
JPS63314832(A)
申请公布日期
1988.12.22
申请号
JP19880109798
申请日期
1988.05.02
申请人
SIEMENS AG
发明人
BURUKUHARUTO RISHIYUKE
分类号
H01J37/09;H01J37/317;H01L21/027
主分类号
H01J37/09
代理机构
代理人
主权项
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