形成超导薄膜的方法及设备

摘要

利用一种超声波喷雾器，把含有一种或多种作为溶质的能形成超导体的金属化合物的匀质溶液或多种溶液雾化并喷洒到一个热载体上，以形成含有复合金属氧化物的超导薄膜，用于形成超导薄膜的超声波喷雾器包括一个超声波发生振荡器、原料输送器、雾化溶液防散逸器、载体底座和加热器，超声波发生振荡器通过一根轴连到一个溶液雾化喷嘴。

主权项

1、一种用于形成含复合金属氧化物的超导薄膜的方法，其特征在于，它包括用一个超声波喷雾器，把含有一种或多种作为溶质的、能形成超导体的金属化合物的单一溶液或多种溶液加以雾化并喷洒到热载体上，以形成所述薄膜。