发明名称 SUBSTRATHALTERUNG ZUR VAKUUMBESCHICHTUNG VON ROTATIONSSYMMETRISCHEN TEILEN
摘要
申请公布号 DD263085(A1) 申请公布日期 1988.12.21
申请号 DD19870305130 申请日期 1987.07.20
申请人 VEB WERKZEUGFABRIK KOENIGSEE,DD 发明人 ROESSNER,GERD,DD
分类号 C23C14/50;(IPC1-7):C23C14/50 主分类号 C23C14/50
代理机构 代理人
主权项
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