发明名称 PROCESS FOR PROVIDING CIRCUIT LINES ON A SUBSTRATE
摘要
申请公布号 EP0238929(A3) 申请公布日期 1988.12.21
申请号 EP19870103376 申请日期 1987.03.10
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 DONSON, WILLIAM ARTHUR;ELLERSON, JAMES VERNON;HAMMER, RICHARD BENJAMIN;LAFER, WILLIAM;SNYDER, KEITH ALAN
分类号 H05K3/06;G03F7/26;H05K1/00;H05K3/00;H05K3/12;H05K3/38;(IPC1-7):H01L21/48 主分类号 H05K3/06
代理机构 代理人
主权项
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