发明名称 PROCEDIMENTO PER FABBRICARE PIASTRINE DI SEMICONDUTTORI
摘要
申请公布号 IT1198282(B) 申请公布日期 1988.12.21
申请号 IT19860022909 申请日期 1986.12.31
申请人 MITSUBISHI DENKI K.K. 发明人 MASAAKI SADAMORI
分类号 B24B7/04;H01L;H01L21/301;H01L21/78;(IPC1-7):H01L/ 主分类号 B24B7/04
代理机构 代理人
主权项
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