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发明名称
EPITAXY INSTALLATION
摘要
申请公布号
EP0285840(A3)
申请公布日期
1988.12.21
申请号
EP19880103800
申请日期
1988.03.10
申请人
SITESA S.A.
发明人
DAN, JEAN PIERRE;DE BONI, EROS;FREY, PETER;IFANGER, JOHANN
分类号
C30B25/02;C30B25/12;C30B25/14;C30B25/16;C30B35/00;H01L21/205;(IPC1-7):C30B25/02
主分类号
C30B25/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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