| 发明名称 |
Differentially pumped seal apparatus |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US4792688(A) |
申请公布日期 |
1988.12.20 |
| 申请号 |
US19870062038 |
申请日期 |
1987.06.15 |
| 申请人 |
THE PERKIN-ELMER CORPORATION |
发明人 |
YOUNG, LYDIA J. |
| 分类号 |
H01J37/18;H01J37/301;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G21K5/08 |
主分类号 |
H01J37/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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