发明名称 High-accuracy position detection apparatus
摘要
申请公布号 US4792739(A) 申请公布日期 1988.12.20
申请号 US19870104987 申请日期 1987.10.06
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 发明人 NAKAMURA, RITAKA;KUROIWA, AKIHIKO
分类号 G01D3/02;(IPC1-7):G05B5/01 主分类号 G01D3/02
代理机构 代理人
主权项
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