发明名称 COMPLETE SHELL CARRIER WHICH CAN CONVEY LARGE QUANTITY ALTOGETHER FOR PROCESSING AND HANDLING SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPS63197354(U) 申请公布日期 1988.12.19
申请号 JP19870089255U 申请日期 1987.06.09
申请人 发明人
分类号 H01L23/50;H01L21/60 主分类号 H01L23/50
代理机构 代理人
主权项
地址