发明名称
摘要
申请公布号 JPS63195724(U) 申请公布日期 1988.12.16
申请号 JP19870087293U 申请日期 1987.06.04
申请人 发明人
分类号 B05C11/08;G03F7/16;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):H01L21/30 主分类号 B05C11/08
代理机构 代理人
主权项
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