PROCEDE DE FABRICATION COLLECTIVE DE CAPTEURS DE PRESSION CAPACITIFS

摘要

L'invention concerne un procédé de fabrication collective de capteurs de pression capacitifs réalisés à partir d'une plaquette de silicium 1 dans laquelle sont micro-usinées des membranes 2 sensibles à la pression et d'une plaquette de verre 3 comportant sur une face 5 des électrodes 4 sortant sur l'autre face 7 par des trous métallisés 8, caractérisé en ce qu'il utilise une seconde plaquette 9 de silicium comportant des ouvertures 90 devant être mises en concidence avec les métallisations 6 du verre, pour réaliser une soudure thermo-électronique à l'aide d'une plaque métallique 10 chauffante placée sous la 1**r**e plaquette de silicium 1 et soumise à un potentiel positif par rapport à la seconde plaquette de silicium 9.

Application à la réalisation de capteurs à deux condensateurs en série.