| 发明名称 |
INRICHTING VOOR HET VERVAARDIGEN VAN GEINTEGREERDE CIRCUITS. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
NL183682(C) |
申请公布日期 |
1988.12.16 |
| 申请号 |
NL19780010809 |
申请日期 |
1978.10.31 |
| 申请人 |
FUJITSU LIMITED TE KAWASAKI, JAPAN. |
发明人 |
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| 分类号 |
H01L21/027;H01J37/304;(IPC1-7):G05B19/18;G05D1/00 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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