| 发明名称 |
PLASMA REACTOR EQUIPPED WITH VACUUM LOAD LOCK |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS63308921(A) |
申请公布日期 |
1988.12.16 |
| 申请号 |
JP19880116746 |
申请日期 |
1988.05.13 |
| 申请人 |
SUPEKUTORAMU C V D INC |
发明人 |
BURAIAN ETSUCHI SHIEKAAJIYAN;JIEI BII PUROSESU |
| 分类号 |
H01L21/302;H01J37/18;H01L21/205;H01L21/3065;H01L21/31;H01L21/67;H01L21/677 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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