发明名称 DEVICE FOR CONTROL OF DIFFUSION PROCESS
摘要
申请公布号 BG44508(A1) 申请公布日期 1988.12.15
申请号 BG19790044371 申请日期 1979.07.17
申请人 MOLLOV,IVAN P.,BG;ATANASOV,ALEKSAND'R S.,BG 发明人 MOLLOV,IVAN P.,BG;ATANASOV,ALEKSAND'R S.,BG
分类号 G05B13/00;(IPC1-7):G05B13/00 主分类号 G05B13/00
代理机构 代理人
主权项
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