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发明名称 ULTRASONIC METHOD OF STRUCTURE HOMOGENEITY CHECKING
摘要
申请公布号 CS260169(B1) 申请公布日期 1988.12.15
申请号 CS19850006328 申请日期 1985.09.04
申请人 DURCEK,JOZEF,CS;BURY,PETER,CS 发明人 DURCEK,JOZEF,CS;BURY,PETER,CS
分类号 H01L29/12;(IPC1-7):H01L29/12 主分类号 H01L29/12
代理机构 代理人
主权项
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