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发明名称 PROCESS FOR THE EPITAXIAL DEPOSITION OF THIN FILMS OF PSEUDO-BINARY SINGLE-CRYSTALLINE SEMICONDUCTOR MATERIAL ON SINGLE-CRYSTALLINE SUBSTRATES
摘要
申请公布号 EP0250769(A3) 申请公布日期 1988.12.14
申请号 EP19870106347 申请日期 1987.05.02
申请人 TELEFUNKEN ELECTRONIC GMBH 发明人 GEIBEL, CHRISTOPH, DR.;ZIMMERMANN, HARALD, DR.;MAIER, HORST, DR.
分类号 C30B19/06;(IPC1-7):C30B19/06 主分类号 C30B19/06
代理机构 代理人
主权项
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