发明名称 CONTINUOUS VAPOUR PHASE PROCESSING MACHINE
摘要
申请公布号 EP0213951(A3) 申请公布日期 1988.12.14
申请号 EP19860306728 申请日期 1986.09.01
申请人 DYNAPERT-HTC CORPORATION 发明人 STRATTMAN, WAYNE P.
分类号 B01J19/00;B23K1/015;C23G5/04;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):C23G5/04;A23K1/00 主分类号 B01J19/00
代理机构 代理人
主权项
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