| 发明名称 |
METHOD FOR DETECTING END POINT OF ETCHING METHOD FOR DETECTING END POINT OF ETCHING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0198507(A3) |
申请公布日期 |
1988.12.14 |
| 申请号 |
EP19860105367 |
申请日期 |
1986.04.18 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRONICS CORPORATION |
发明人 |
YANAGIHARA, TOSHIYA |
| 分类号 |
H01L21/302;G01N21/62;H01L21/3065;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/306;C23F4/00;H01J37/32;H01L21/31 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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