发明名称 THIN FILM CONDUCTOR WHICH CONTAINS SILICON AND GERMANIUM AS MAJOR COMPONENTS AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME
摘要
申请公布号 GB2179790(B) 申请公布日期 1988.12.14
申请号 GB19860020261 申请日期 1986.08.20
申请人 * ANRITSU CORPORATION 发明人 SETSUO * KODATO
分类号 H01L35/14;G01J5/02;G01J5/12;G01J5/14;G01L1/22;H01B1/04;H01C7/00;H01L29/16;H01L35/30;(IPC1-7):H01L23/54;H01L35/34;H01L41/22 主分类号 H01L35/14
代理机构 代理人
主权项
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