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摘要
申请公布号
JPS63306890(A)
申请公布日期
1988.12.14
申请号
JP19870142778
申请日期
1987.06.08
申请人
HITACHI LTD
发明人
AJIKI NAOJI
分类号
B25J15/06;H01L21/677;H01L21/68;H05K13/04
主分类号
B25J15/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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