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Beschrieben werden positiv arbeitende Photoresistzusammensetzungen, enthaltend (a) ein thermisch härtbares Epoxidharz, (b) einen latenten Harnstoff- oder Imidazol-Härter für die Komponente (a), und (c) einen Eisen-aren-Komplex der Formel (I) <IMAGE> worin n 1 oder 2 bedeutet, m 1, 2, 3, 4 oder 5 ist, X für ein nicht nukleophiles Anion steht, R¹ ein π-Aren ist und R² ein Anion eines π-Arens bedeutet. Diese zeichnen sich durch gute Temperatur- und Chemikalieneigenschaften aus und benötigen kurze Belichtungszeiten.
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