发明名称 INDUCTION PLASMA GENERATOR AND ITS SOURCE CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPS63304598(A) 申请公布日期 1988.12.12
申请号 JP19880051794 申请日期 1988.03.07
申请人 PERKIN ELMER CORP:THE 发明人 PIITAA JIEI MOORISUROU
分类号 H05H1/30;H05H1/36 主分类号 H05H1/30
代理机构 代理人
主权项
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