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经营范围
发明名称
INDUCTION PLASMA GENERATOR AND ITS SOURCE CIRCUIT
摘要
申请公布号
JPS63304598(A)
申请公布日期
1988.12.12
申请号
JP19880051794
申请日期
1988.03.07
申请人
PERKIN ELMER CORP:THE
发明人
PIITAA JIEI MOORISUROU
分类号
H05H1/30;H05H1/36
主分类号
H05H1/30
代理机构
代理人
主权项
地址
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