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发明名称 ELECTRON BEAM DEVICE AND A FOCUSING LENS THEREFOR
摘要
申请公布号 EP0275611(A3) 申请公布日期 1988.12.07
申请号 EP19870202651 申请日期 1987.12.30
申请人 N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN 发明人 SPANJER, TJERK GERRIT;VRIJSSEN, GERARDUS ARNOLDUS HERMAN MARIA
分类号 H01J37/14;H01J29/62;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):H01J29/62 主分类号 H01J37/14
代理机构 代理人
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