发明名称 FORMATION OF TFT PANEL
摘要
申请公布号 JPS63300282(A) 申请公布日期 1988.12.07
申请号 JP19870136964 申请日期 1987.05.29
申请人 FUJITSU LTD 发明人 ENDO TETSURO;KAMATA TAKESHI;OURA MICHIYA;YANAI KENICHI;OKI KENICHI
分类号 G09F9/30;G02F1/136;G02F1/1368;G09F9/00;H01L21/336;H01L27/12;H01L29/78;H01L29/786 主分类号 G09F9/30
代理机构 代理人
主权项
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