| 摘要 |
<p>Es wird eine Kontaktsonden-Anordnung (1) mit einer motorgetriebenen Feinpositionier-Vorrichtung beschrieben. Die Feinpositionier-Vorrichtung gestattet eine Bewegung der Kontaktsonden-Anordnung (1) in zwei zueinander senkrechten Richtungen, die als X- und Y-Richtung bezeichnet werden. Um mehrere mit Feinpositionier-Vorrichtungen versehene Kontaktsonden-Anordnungen (1) dicht benachbart anordnen zu können, erstreckt sich die Längsachse jeder Feinpositionier-Vorrichtung senkrecht zu der durch die X- und Y-Richtung bestimmten Ebene. Für jede Bewegungsrichtung ist ein Elektromotor (2, 3; 20, 21) vorgesehen. Bei einem ersten Ausführungsbeispiel erfolgt das Feinpositionieren in jeder Richtung über eine senkrecht angeordnete Hohlwelle (10, 11), die an ihrem unteren Ende exzentrisch ausgebildet ist und einen Mitnehmerschlitten (13, 14) hin- und herbewegt, der mit der Kontaktsonden-Anordnung (1) fest verbunden ist. Die Hohlwelle (11) für die Bewegung der Kontaktsonden-Anordnung (1) in Y-Richtung verläuft innerhalb der Hohlwelle (10) für die Bewegung in X-Richtung. Über Sensoren (16) wird die zurückgelegte Wegstrecke ermittelt. Bei einem zweiten Ausführungsbeispiel erfolgt das Feinpositionieren der Kontaktsonden-Anordnung über Keile (30, 31, 33) von denen jeweils 2 (30, 33) über eine Wippe (32) miteinander verbunden sind und auf gegenüberliegenden Flächen eines vierseitigen Pyramidenstumpfes (34) aufliegen, der mit der Kontaktsonden-Anordnung (1) fest verbunden ist. Auf- und Abbewegen der Keile bewirkt das Feinpositionieren in der X- bzw. der Y-Richtung.</p> |
