发明名称 |
METHOD OF SEPARATING INTERFACE SEALED BY OXIDE PROTECTIVE LAYER FOR PAD |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS63299144(A) |
申请公布日期 |
1988.12.06 |
申请号 |
JP19880041802 |
申请日期 |
1988.02.24 |
申请人 |
THOMPSON COMPONENTS MOSTEK CORP |
发明人 |
YUU-PIN HAN;FUU-TAI RIYUU;FURANKU AARU BURAIANTO;CHIN SHII CHIYAN |
分类号 |
H01L21/316;H01L21/32;H01L21/76;H01L21/762 |
主分类号 |
H01L21/316 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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