发明名称 METHOD OF SEPARATING INTERFACE SEALED BY OXIDE PROTECTIVE LAYER FOR PAD
摘要
申请公布号 JPS63299144(A) 申请公布日期 1988.12.06
申请号 JP19880041802 申请日期 1988.02.24
申请人 THOMPSON COMPONENTS MOSTEK CORP 发明人 YUU-PIN HAN;FUU-TAI RIYUU;FURANKU AARU BURAIANTO;CHIN SHII CHIYAN
分类号 H01L21/316;H01L21/32;H01L21/76;H01L21/762 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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