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发明名称
摘要
申请公布号
JPS63188953(U)
申请公布日期
1988.12.05
申请号
JP19870081984U
申请日期
1987.05.28
申请人
发明人
分类号
H01L21/52;H01L23/48;(IPC1-7):H01L23/48
主分类号
H01L21/52
代理机构
代理人
主权项
地址
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