发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE AND APPARATUS FOR IT
摘要
申请公布号 JPS63296227(A) 申请公布日期 1988.12.02
申请号 JP19870329409 申请日期 1987.12.25
申请人 TEXAS INSTR INC <TI> 发明人 JIYON DABURIYU OOKATSUTO
分类号 H01L21/56;H01L23/50 主分类号 H01L21/56
代理机构 代理人
主权项
地址