DISTRIBUTOR BEAM FOR CHEMICAL VAPOR DEPOSITION ON GLASS

摘要

Faisceau distributeur (35) permettant de déposer une matière de revêtement sur la surface d'une feuille de verre (34), comprenant un espace plein (60, 61) divisé par une cloison (65) destinée à séparer les différents gaz de revêtement. Des sorties permettant le passage des gaz sont reliées à une entrée jusqu'à une chambre (75) de mélange, afin de séparer et réorienter l'écoulement des gaz pour bien les mélanger et obtenir une matière de revêtement. Une chicane digitiforme (80, 81), ayant deux ensembles d'éléments de doigts s'alternant, s'étend en travers de la largeur de la chambre de mélange. Chaque élément digitiforme a une extrémité plus proche de la sortie de l'espace plein que l'extrémité opposée. L'espace plein est entouré par un conduit (46) de fluide de refroidissement et des éléments chauffants (56) sont prévus pour réguler la température. Des thermocouples (67) produisent des signaux représentant des températures désirées, et les systèmes de chauffage sont commandés afin que les gaz soient maintenus à une température optimum à mesure qu'ils s'écoulent de l'espace plein jusqu'à la surface de la feuille de verre, laquelle est située sous une sortie débouchant de la chambre de mélange.