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发明名称 TRAEGERREINIGUNGS- UND -TROCKNUNGSVORRICHTUNG
摘要
申请公布号 DE3815018(A1) 申请公布日期 1988.12.01
申请号 DE19883815018 申请日期 1988.05.03
申请人 DAN SCIENCE CO., LTD., HACHIOJI, TOKIO/TOKYO, JP;MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 KAMIMURA, YASUO, HACHIOJI, TOKIO/TOKYO, JP;OHMORI, TOSHIAKI;YANAGI, MOTONORI;FUKUMOTO, TAKAAKI;HAMA, MASAHARU, ITAMI, HYOGO, JP
分类号 B08B3/02;B08B3/10;H01L21/00;(IPC1-7):B08B3/02 主分类号 B08B3/02
代理机构 代理人
主权项
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