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发明名称
摘要
申请公布号 JPS63187336(U) 申请公布日期 1988.11.30
申请号 JP19870078004U 申请日期 1987.05.22
申请人 发明人
分类号 H01L21/31;H01L21/205;H01L21/22;H01L21/673;H01L21/68;H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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