发明名称 FABRICATION OF STACKED MOS DEVICES
摘要
申请公布号 EP0151350(B1) 申请公布日期 1988.11.30
申请号 EP19840308910 申请日期 1984.12.19
申请人 NORTHERN TELECOM LIMITED 发明人 MACELWEE, THOMAS WILLIAM;CALDER, IAIN DOUGLAS;WHITE, JAMES JUDSON
分类号 H01L21/8238;H01L21/20;H01L21/268;H01L21/822;H01L21/8234;H01L21/8244;H01L27/00;H01L27/088;H01L27/092;H01L27/11;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/82;H01L21/265 主分类号 H01L21/8238
代理机构 代理人
主权项
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