| 发明名称 |
PROCEDE ET INSTALLATION DE DEPOT DE SILICIUM AMORPHE HYDROGENE SUR UN SUBSTRAT DANS UNE ENCEINTE A PLASMA. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
CH668145(A5) |
申请公布日期 |
1988.11.30 |
| 申请号 |
CH19860003868 |
申请日期 |
1986.09.26 |
| 申请人 |
INSTITUT DE MICROTECHNIQUE DE L'UNIVERSITE DE NEUCHATEL |
发明人 |
CURTINS, HERMANN |
| 分类号 |
C23C16/30;C23C16/22;C23C16/50;C23C16/509;H01L21/205;H01L31/04;(IPC1-7):H01L21/20;H01L31/00 |
主分类号 |
C23C16/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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