发明名称 MASK-SURROGATE SEMICONDUCTOR PROCESS EMPLOYING DOPANT-OPAQUE REGION
摘要
申请公布号 EP0238362(A3) 申请公布日期 1988.11.30
申请号 EP19870302480 申请日期 1987.03.23
申请人 ADVANCED POWER TECHNOLOGY INC. 发明人 HOLLINGER, THEODORE G.
分类号 H01L21/68;H01L21/033;H01L21/266;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/336;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/24;H01L21/225 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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