ANORDNUNG VON SUBSTRATEN INNERHALB EINER EINRICHTUNG ZUR PLASMAGESTUETZTEN VAKUUMBESCHICHTUNG,申请号DD19870302942-传众专利搜索

发明名称	ANORDNUNG VON SUBSTRATEN INNERHALB EINER EINRICHTUNG ZUR PLASMAGESTUETZTEN VAKUUMBESCHICHTUNG
摘要
申请公布号	DD262450(A1)	申请公布日期	1988.11.30
申请号	DD19870302942	申请日期	1987.05.20
申请人	VEB HOCHVAKUUM DRESDEN,DD	发明人	BUECKEN,BERND,DD;PEUKERT,WALTER,DD;STEIGMANN,EBERHARD,DD
分类号	C23C14/04;C23C14/50;(IPC1-7):C23C14/50	主分类号	C23C14/04
代理机构		代理人
主权项
地址