发明名称 BARREL REACTOR AND METHOD FOR PHOTOCHEMICAL VAPOR DEPOSITION
摘要
申请公布号 EP0191855(B1) 申请公布日期 1988.11.30
申请号 EP19850904896 申请日期 1985.07.08
申请人 HUGHES AIRCRAFT COMPANY 发明人 SCAPPLE, ROBERT, Y.;PETERS, JOHN, W.;LINDER, JACQUES, F.;YEE, EDWARD, M.
分类号 C23C16/44;C23C16/455;C23C16/48;(IPC1-7):C23C16/48 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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