发明名称 WAFER CONVEYOR
摘要
申请公布号 JPS63288677(A) 申请公布日期 1988.11.25
申请号 JP19870123710 申请日期 1987.05.22
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 NISHIGAKI HISASHI
分类号 B25J9/00;B25J9/06;H01L21/677;H01L21/68 主分类号 B25J9/00
代理机构 代理人
主权项
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