发明名称 PROCEDES POUR APPLIQUER SIMULTANEMENT SUR UNE PLURALITE DE PLAQUETTES DE CIRCUITS INTEGRES UNE PELLICULE PHOTOSENSIBLE D'EPAISSEUR UNIFORME EN VERRE DE SELENIURE DE GERMANIUM OU D'ARSENIC SENSIBILISE PAR UN SEL D'ARGENT
摘要
申请公布号 FR2595508(B1) 申请公布日期 1988.11.25
申请号 FR19860003395 申请日期 1986.03.07
申请人 CENTRE NAL RECHERC SCIENTIFIQUE 发明人 MICHEL RIBES, MAURICE MAURIN, BERNARD CROS, SERGE A. PEYTAVIN, PATRICK J. JULIEN ET FERRAN XINXO;MAURIN MAURICE;CROS BERNARD;PEYTAVIN SERGE A;JULIEN PATRICK J;XINXO FERRAN
分类号 G03C1/74;C23C16/56;G03F7/004;G03F7/16;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/316;C23C16/30;C23C16/44;G03C1/71 主分类号 G03C1/74
代理机构 代理人
主权项
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