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发明名称 ION PUMP WITH A CATHODE OF IMPROVED STRUCTURE, PARTICULARLY FOR PUMPING INERT GASES
摘要
申请公布号 EP0106377(B1) 申请公布日期 1988.11.23
申请号 EP19830201225 申请日期 1983.08.25
申请人 VARIAN S.P.A. 发明人 PIERINI, MARCO
分类号 H01J41/20;(IPC1-7):H01J41/12 主分类号 H01J41/20
代理机构 代理人
主权项
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